特種氣體是指稀有氣體或超高純度(99.995% 以上)的氣體。包括分析、醫1藥、電子及石油化工在內的許多行業都會受益于特種氣體的獨特性質,它有助于提高產量、優化性能以及降低成本。隨著國產化的推進,部分種類的電子特種氣體慢慢形成規模效應,占據市場半壁江山。一些常規的特氣產品,中國的產能甚至可以滿足全球范圍內的需要,但需清醒的看到,從核心競爭力,質量管理,品牌效應方面來說,我們仍然處于低水平區間。根據有關數據顯示,中國特種功能電子氣體市場規模逐年增長,僅2016年,中國特種電子氣體市場規模約為98億元左右。值得關注的是,從產業鏈以及技術層面歐美國家占據較好的地位。






自80年代1開始,我國的氣體工業迅速發展,各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標準氣體、電子工業用氣體等相繼問世,其品種數目已與國外發達國家水平相近。硅片的蝕刻氣體(特種氣體)主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。包裝標志:有毒氣體。常溫下,干氯不腐 蝕鋼{但在水和濕氣存在時,由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強腐蝕性應保持設備中無 水,管路、閥門和容器不用時應密封或加帽,從而與大氣中的濕氣隔離

特種氣體在太陽能電池中的應用:晶體硅電池片生產中的擴散工藝用 到 POCl3 和 O2,減反射層 PECVD 工藝用到 SiH4、NH3,刻蝕工藝用到 CF4;特種氣體的儲存注意事項:高壓容器內,存有內容物時,無論內容量多少,在該容器儲存場地2m內,嚴禁明火或放置燃、可燃物。場所的環境溫度≤40℃為佳。特種氣體的儲存注意事項:儲存場地的道路,應占整個場地面積的20%以上。充填容器和空容器需要明確區分存放。充填容器入庫前需檢漏,長期存放的充填高壓容器需要每月復檢一次,并做記錄。

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